F-Theta lēcas parasti tiek izmantotas kopā ar galvanometra skenēšanas spoguļiem lāzergravēšanas, griešanas un marķēšanas sistēmās. Parasti lēcas F-Theta deformācija tiek uzturēta mazāka par 1%, lai tā varētu radīt precīzu punktu attēla plaknes plaknē.
Diametra pielaide: +0/-0,13 mm
Biezuma pielaide: ±0,25 mm
Fokusa attāluma pielaide: ±2%
Malu biezuma variācija (ETV): ≤3 loka min.
Skaidra apertūra: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Virsmas kvalitāte: 40–20 SD
AR pārklājums: R <0,2% uz virsmas @ 10,6 μ